靳祖春：矽基芯片材料的探路者

近年来，人工智能、大数据、5G等行业亟需高性能的芯片加持，这也使得芯片制造材料领域备受瞩目。而在矽基芯片材料这一领域，靳祖春可谓是颇具建树的专家。

靳祖春是中科院长春光学精密机械与物理研究所研究员、博士生导师。他曾率领团队研究开发出国内首个超高纯多晶硅制备设备，在国内外芯片行业中声誉颇高。

矽基芯片是当今电子信息产业最核心的零部件之一，硅片制备是芯片制造中的基础，也是关键的核心技术之一。而多晶硅材料作为硅片制备的一种重要前驱材料，在芯片工业中，广泛用于太阳能电池、大规模集成电路制造及特种电子元器件等。

靳祖春的团队研究工作以多晶硅制备设备为核心，基于化学气相沉积技术，实现了超高纯多晶硅的制备，获国家授权发明专利、实用新型专利5项，国际专利2项。

在国内硅片制备及大规模集成电路制造领域，靳祖春以超高纯多晶硅的制备技术成果为基础，推动了半导体材料制备工艺以及芯片制造技术创新，对国家的电子信息产业发展做出了杰出的贡献。